某半导体行业打造公司因晶圆除垢工艺程序导致含氨废污水,的水量200吨/天。废污河中除化学需氧量外还有效氟化物和氢化物发生器血本属,加工麻烦大。本县产生规范标准耍求化学需氧量<5mg/L,氟化物<3mg/L。
生产废水材质及原因
晶圆擦拭化工废水(大部分原因):含氧化还原电位200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀加工过程生产废水:含轻微铜、镍等天价属,pH值振幅大
CMP磨研生产废水:含硅科粒及氧化还原电位
进行处理技术的流程
主要采用"化学上的石雕文化沉淀+膜溶合+折点氯化"团体工艺设计:
预加工
:污泥脱水CaCl2除氟,有效控制pH在7.5-8.
超滤膜体统
:删去0.01μm综上所述顆粒物
反渗透装置性浓缩咖啡
:将化学需氧量沉淀至1000mg/L上述
折点氯化
:小于操控氯污泥脱水量,将氧化还原电位转换成为氦气
化合物对调
:后勤保障巨资属合格
终于体验
氧化还原电位比较稳定<3mg/L,氟化物<1mg/L
高价属的含量如果低于测量限
水回收率达75%
工业废水呈现量以减少40%