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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8寸大晶圆种植线智能化的超蒸馏水整体,每天晚上引发含硅工業废水150吨。工業废水面虽无天价属,但硅含铁高易水垢,且电阻器率需可达18MΩ·cm就能造纸废水净化处理。现有净化处工院艺是无法需要满足新制定的《電子工業水环境空气污染物减排标》(GB39731-2020)专门减排规定值。 废水处理工艺材质的特点 首要影响物 :电解质溶液硅(200-300mg/L)、科粒硅(比表面积0.1-1μm) 特种标准 :TOC<10μg/L,硼含水量<5μg/L 水体的特点 :低导电率(<50μS/cm)但硅无机化合物姿态僵化 进行处理加工工作流程 科技创新采用了"梯级膜分割+电去阴离子"整合新工艺: 微滤预处里 :1μm陶瓷厂家膜屏蔽广告大小粒硅,通量保持80LMH 亚铁离子交流聚酯树脂 :D201大孔硅橡胶进行性溶解硅酸原子 一级RO程序 :一是段回收利用率60%,其次段选用高脱硼膜开关元件 EDI电去阴离子 :直流电压比热容2A/m²,不断地快速清理多余亚铁离子 红外光谱杀菌的 :254nm紫外光线分子量40mJ/cm² 技术工艺新亮点 開發多功能阻硅剂(有机酸胺类和好物),廷缓膜被污染的时期3倍 EDI控制模块革新流道规划,硅我们要除率升高至99.8% 优酷云硅研究分析仪器(检测面积0.1-500μg/L)变现精准定位调整 工作转化效果 经3方加测: 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼浓度从8μg/L降低0.3μg/L 设备回收并率从原40%升高至68% 膜撤换过渡期延伸至5年,年行驶成本预算消减35%

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