该事例出自于华东地地开家门头光电器件制造厂工厂,关键的制作融合控制电路存储芯片。在的制作进程中,晶圆除垢、蚀刻等制作工艺需操作过多电子无线级磷酸(含量≥85%),据此有高密度含磷废水办理工艺。工厂原先办理公共设施无发充分考虑日益增长严谨的排放出规格(TP≤0.5mg/L),亟需升级系统改革。
污水材质及原因
工业工业污生产废水 重要起出自两个阶段:晶圆清晰工业工业污生产废水 (占总储水量60%)、机喷洗工业工业污生产废水 (30%)和地面砖喷洗工业工业污生产废水 (10%)。地表水优点行为 为:pH值1.5-2.5,总磷溶度800-1200mg/L,氟阴离子量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并包含少量巨资属(铜、锌等)。
解决技艺的流程
大型项目适用"预治理+有机化学沉垫+初级脱色+深度的过滤装置"的组合起来加工制作工艺 :
调节器池
:多样化水的质量发电量,现有pH网络污染监测程序
特一级生理反应池
:加药系统生石灰粉乳调试pH至8.5-9.0,出现Ca3(PO4)2沉淀自己
特殊不起作用池
:加PAC和PAM提升斜板沉淀池目的
斜板乳浊液池
:满足固液剥离 ,淤泥渗入脱水等系统的
Fenton空气氧化单无
:H2O2与Fe²⁺协作能力生物降解有机化合物物
多有机溶剂滤水器
:石英晶体砂+渗透性炭组装滤出,事关喷水浑浊
阳离子相互交换系統
:进那步祛除残余物铝合金阴阳离子
然后的效果
软件系统执行可靠后,满水后水质监测:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟亚铁离子≤5mg/L,一项要求好于《电子元器件行业水影响物有规则》(GB 39731-2020)。第年变少磷有约15吨,工业废水有量较传统型生产工艺有效降低40%,执行代价操作在8.十元/吨水。