半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
大型项目图片背景
该单位为全球性当先的半导体设备公测单位,座落在珠半圆区县,核心去中档处理芯片的小学划片和封装形式测试方法。鉴于本省坏保规定苛刻,单位决定的进行生产废水零摆放工程施工。建设项目于2030年打火,202三年6月完工投运,处理范围为200吨/日,总项目投资约2000百万元。
废水处理组成及由来
这项原因小学划片生产废水都具有下面特性:
高盐酸度氟化物,主要是出自于晶圆切割机后的擦拭繁琐流程,氟铁离子盐酸度超过150-200mg/L
富含微米级硅粉小粒,颗粒直径多在100-500nm直接
设计功率较高,COD在500-800mg/L
有效进样器高价属如铅、镉等
导电率高,通常情况下在2000-3000μS/cm
外理制作工艺具体流程
为完成零排卸受众,技术制定注重考虑一下化工废水细分收藏和资原收旧:
生产废水划分回收利用机系统
:将含氟电镀废水处理方法与别电镀废水处理方法分着汇集
药剂学水解除氟
:运用二级钙盐发展法,协调一致高效率的发展池
高层氧化物治理
:嗅氧促使阳极氧化可降解难清理有机会物
膜高浓软件
:选用DTRO碟管式反侵入,提液因数为10倍
挥发沉淀
:MVR设备蒸气再再压缩冷却器器处理浓水
非常干燥体系
:将成果盐干澡后用于重工业副品牌外售
进行处理结果
程序使用数据信息展现:
氟化物消除率>99.9%,满水后氟亚铁离子<1mg/L
COD总清理率>98%,溢水COD<20mg/L
水资原回笼率>95%,仅出现极富心得盐
每季度可的回收利用高的质量回收利用水约七万吨
结晶体盐饱和度到达实业级规范标准,推动市场化采用
楼盘不单达成了生活污水零进行排放,还按照市场回报开创了约80万余元/年的加倍价值。