半导体封装废水怎么处理方法|半导体封装废水处理案例
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该工厂为于广东省天津市,主要去做高级半导体电源芯片电源芯片的封装类型软件测试,日排放出量废供水量约200吨。原因产出过程中 中食用几种化学上血药,电镀废水材料很复杂,包含有高巧妙废气浓度铜、镍等天价属并且 树酯树酯、光刻胶等巧妙破坏物。工厂原先的处置公用设施無法符合2016排放出量准则,急要更新改革。
废气基本成分及因素
主轴电镀废液
:种类于电源芯片引脚电镀锌繁琐流程,包含铜、镍、锡等高价属阴离子,pH值震荡大。
巧妙废渣
:大部分产于封装形式胶凝固、光刻鑫霖环保,所含环氧防锈漆硅橡胶、异丙醇、异丙醇等有机质高沸点溶剂。
酸碱性废水处理
:产生于晶圆洗涤和蚀刻生产工序,含带氢佛酸、浓盐酸、氢空气氧化钠等。
加工处理加工工作流程
预治疗的阶段
碱酸结合
:能够 加量系统调高pH至6-9,解决之后补救设备耐腐蚀。
水泥混凝土积淀
:加药PAC(汇聚氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),删去悬屏物和要素巨资属。
中心治理时间段
高端空气氧化
:主要采用Fenton化学制剂(H₂O₂+Fe²⁺)细化难降解塑料有机酸物,COD清除率达70%不低于。
膜进行过滤
:超滤膜(UF)+反加入(RO)组合式工艺设备,进1步虚报冒领天价属和溶化性可挥发物。
厚度治疗分阶段
亚铁离子对换
:特别对於铜、镍正离子,保持出液血本属占比降到0.5mg/L。
抗逆性炭吸咐
:充当进而有效保障,删去残余物氢化物发生器巧妙物。
以后感觉
经整理后,喷水水质监测做到《手机行业水弄脏物排污标准的》(GB 39731-2020):COD<50mg/L、铜<0.3mg/L、镍<0.1mg/L,回收利用率提高了至60%,去年勤俭节约清水利润约80多万元。